昨天,在浦東新區(qū)康橋工業(yè)園南區(qū),由華虹集團旗下上海華力集成電路制造有限公司建設和營運的12英寸先進生產(chǎn)線建設項目（以下簡稱“華虹六廠”）實現(xiàn)首臺工藝設備——光刻機搬入,標志著華虹六廠從基建階段進入工藝設備安裝調(diào)試階段。

    作為上海市最大的集成電路產(chǎn)業(yè)投資項目,華力12英寸先進生產(chǎn)線總投資387億元人民幣,計劃于2022年底建成月產(chǎn)能4萬片的12英寸集成電路芯片生產(chǎn)線。

    集成電路技術(shù)進步,一般用芯片集成度和微細加工精度兩個指標來衡量。芯片集成度,指單一芯片中所含有的晶體管數(shù)量。晶圓尺寸從3英寸、4英寸、5英寸、6英寸、8英寸已發(fā)展到目前的12英寸,并且18英寸也開始處于研發(fā)階段。從目前全球晶圓廠產(chǎn)能情況來看,12英寸生產(chǎn)線主要生產(chǎn)高性能產(chǎn)品,工藝技術(shù)更加先進,是目前的主流建設方向。行業(yè)知名咨詢機構(gòu)IC　Insights（集成電路觀察）分析認為,截至2016年底,300毫米（12英寸）晶圓占全球晶圓廠產(chǎn)能的63.6％,預計到2021年底將達到71.2％,其年均復合增長率為8.1％。

    華力12英寸先進生產(chǎn)線工藝覆蓋28—14納米技術(shù)節(jié)點。目前,世界集成電路生產(chǎn)水平最高已達到7納米,主流生產(chǎn)線的技術(shù)水平為28—14納米,中國大陸集成電路企業(yè)生產(chǎn)工藝水平最高為28納米。華虹集團此前已擁有一條全自動的12英寸芯片生產(chǎn)線,目前主要采取的是55—28納米技術(shù)。相比第一條12英寸生產(chǎn)線,此次項目在技術(shù)工藝和產(chǎn)能兩方面都有所提升。

    “中國大陸28納米芯片的產(chǎn)能非常少,未來4萬片月產(chǎn)能建成后,我國28納米芯片的產(chǎn)能將提升一倍。到時候,我們使用的高端芯片將有一部分來自國產(chǎn),在上海就能生產(chǎn)28納米芯片,這對于我國集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展意義深遠�！鄙虾ＨA力微電子有限公司總裁雷海波說,28納米芯片的應用領域非常廣泛,比如手機通信、物聯(lián)網(wǎng)、人工智能領域的高端芯片。該項目主要從事邏輯芯片生產(chǎn),在這一技術(shù)基礎上,可以開發(fā)出射頻、高壓、嵌入式存儲器類芯片等許多產(chǎn)品,重點服務國內(nèi)設計企業(yè)先進芯片的制造,并滿足部分事關國家信息安全的重點芯片制造需求。

    大陸最先進的浸沒式光刻機

    此次搬入的首臺工藝設備為荷蘭阿斯麥公司的NXT1980Di光刻機,是目前中國大陸集成電路生產(chǎn)線上最先進的浸沒式光刻機。

    光刻機是芯片制造的核心設備之一,按照用途可以分為,用于生產(chǎn)芯片的光刻機、用于封裝的光刻機和用于LED制造領域的投影光刻機。在加工芯片的過程中,光刻機通過一系列的光源能量、形狀控制手段,將光束透射過畫著線路圖的掩模,經(jīng)物鏡補償各種光學誤差,將線路圖成比例縮小后映射到硅片上,然后使用化學方法顯影,從而得到刻在硅片上的電路圖。簡單地說,就是將芯片設計的圖形從掩模版上“轉(zhuǎn)移”到涂在硅片表面的光刻膠上。

    華力12英寸先進生產(chǎn)線建設項目首臺工藝設備的搬入,標志著將康橋工業(yè)園南區(qū)打造為上海集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展新基地取得了階段性勝利,這對上海市落實《國家集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展推進綱要》,同時對上海建設先進制造業(yè)的產(chǎn)業(yè)集群高地,打響“上海制造”品牌有著重要意義。未來五個月內(nèi),華虹六廠工藝設備將集中搬入,其中也包括一些國產(chǎn)設備,今年底前將完成生產(chǎn)線串線并實現(xiàn)試流片,預計月產(chǎn)能達到1萬片。

    進入全球集成電路產(chǎn)業(yè)陣營前列

    “有點激動,也有點感動�！比A虹集團黨委書記、董事長張素心說,自2016年12月30日開工以來,廣大建設者克服連綿陰雨、持續(xù)高溫等不利因素,實施立體和錯時施工。經(jīng)過約一年半的努力,每天工作12小時以上,目前主廠房已完成凈化裝修,相關配套機電設備準備就緒,具備了工藝設備搬入條件,比原計劃進度提前1個半月。

    項目建成后,華虹集團將成為擁有覆蓋從0.5微米到14納米各工藝節(jié)點的大型集成電路制造產(chǎn)業(yè)集團,在產(chǎn)業(yè)規(guī)模和工藝技術(shù)上進入全球集成電路產(chǎn)業(yè)陣營的前列。該項目已被列入國家《“十三五”集成電路產(chǎn)業(yè)重大生產(chǎn)力布局規(guī)劃》,是國家“910工程”的子項目之一,也是“十三五”期間上海市重大產(chǎn)業(yè)項目和上海市重大工程,并實現(xiàn)了當年立項當年開工。