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日本光馳鍍膜機(jī)1800mm

配置： 光馳1800一臺,配置有電子槍1把,蒸發(fā),精,控光控。上烤,離子源深冷

特點(diǎn)：

1.大抽速真空系統(tǒng)加配深冷裝置,優(yōu)秀的動態(tài)真空能力,滿足高效率生產(chǎn)的要求。

2.裝載量更大,如需鍍制大尺寸平面產(chǎn)品,可配備平面夾具

3.配備為該系列鍍膜機(jī)特殊設(shè)計的單電子槍,可使膜料面平整無坑、確保蒸發(fā)分布穩(wěn)定。

4.可配置在線反射率監(jiān)控系統(tǒng),產(chǎn)品一致性好。

產(chǎn)品參數(shù)

德國萊寶 型號：aps1104 真空室尺寸：1100*1200mm

深冷裝置：溫度-135℃,抽速90000l/s,功率7.5kw

真空性能：極限5×10-4pa,抽速：大氣到5×10-3pa小于10分鐘,升壓時間：1×10-3pa到1×10-1pa大于10分鐘

轉(zhuǎn)動夾具：球面或平面,5-20轉(zhuǎn)/立式公轉(zhuǎn)夾具

電子槍：單雙槍/電阻+磁控濺射

離子源：矩形離子源

晶體膜厚儀：sqc-310（全中文操作界面）

寬光譜監(jiān)控：400-1200nm多片反射

地址：東莞市茶山鎮(zhèn)增步村麒麟工業(yè)區(qū)新益大廈

極限真空度 3.0×10-4pa

恢復(fù)真空時間 4.0×10-3pa 15min

抽氣系統(tǒng) 擴(kuò)散泵tk-500×2

羅茨泵zjp-300

機(jī)械泵2x-70

真空測量系統(tǒng) 配三路數(shù)字復(fù)合真空計,兩路低真空,一路高真空

操作方式 手動/自動

工件夾具 φ1040

工件烘烤系統(tǒng) 上烘烤,鎧裝管狀加熱器加熱,******溫度350℃,pid自動控溫及顯示

產(chǎn)品特點(diǎn)

采用箱式結(jié)構(gòu),真空系統(tǒng)后置,便于操作和維修；整機(jī)表面平整,方便清潔,特別適合放置在凈化間內(nèi)做穿墻式安 裝。

設(shè)備真空系統(tǒng)抽速大,具有抽氣時間短,真空度高,生產(chǎn)周期短等優(yōu)點(diǎn)。

采用管狀加熱器上烘烤,烘烤溫度均勻,壽命長,可達(dá)到******烘烤溫度350℃,烘烤均勻性270℃±10℃。

工件轉(zhuǎn)動采用上部中心驅(qū)動,軸承帶水冷,磁流體密封,轉(zhuǎn)動平穩(wěn)可靠。

采用石英晶體膜厚控制儀,可實(shí)現(xiàn)鍍膜過程的自動控制。

采用先進(jìn)的鍍膜控制系統(tǒng),人機(jī)操作界面美觀實(shí)用,系統(tǒng)穩(wěn)定可靠,可實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)的手動、半自動和全自動操作