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低溫等離子的除臭功能就是依靠于高達15000kv的高壓電場離子分布形式來完成的。通過滿布于廢氣通道上的電離子分解空氣中的陽離子，將廢氣中的有害物質氧化分解出來，可以得到比較理想的廢氣處理效果。 等離子除臭設備在外加電場的作用下，介質放電產生的大量攜能電子轟擊污染物分子，使其電離、解離和激發(fā)，然后便引發(fā)了一系列復雜的物理、化學反應，使復雜大分子污染物轉變?yōu)楹唵涡》肿影?nbsp; 全物質，或使有毒有害物質轉變成無毒無害或低毒低害的物質，從而使污染物得以降解去除。因其電離后產生的電子平均能量在，適當控制反應條件可以實現(xiàn)一般情況下難以實現(xiàn)或速度很慢的化學反應變得十分快速。     等離子除臭設備對于低濃度的vocs很難實現(xiàn)，而光催化降解vocs又存在催化劑  容易失活的問題，利用低溫等離子體處理vocs可以不受上述條件的限制，具有潛在的優(yōu)勢。但由于等離子體是一門包含放電物理學、放電化學、化學反應工程學及真空技術等基礎學科之上的交叉學科。因此, 目前能成熟的掌握該技術的單位非常的少。大部分宣傳采用低溫等離子技術處理廢氣的宣傳都不是真正意義上的低溫等離子廢氣處理技術。